Specificaties opstellen

F12-200x200Een kwalitatief goed ontwerp voldoet aan een groot aantal eisen. Deze eisen kunnen bijvoorbeeld liggen op het gebied van massa, stijfheid, reproduceerbaarheid, kostprijs, omgevingsomstandigheden of warmtedissipatie.

Door alle specificaties in een vroeg stadium goed op te stellen, wordt voor alle betrokkenen duidelijk waar het ontwerp aan moet voldoen. Kwalificatie van het uiteindelijk ontwerp is daarna relatief eenvoudig: voor elke specificatie bewijst een geschikte praktijktest of het ontwerp voldoet.

Vink System Design & Analysis heeft gedegen ervaring in het opstellen van specificaties. Een greep uit de werkzaamheden op dit gebied:

  • ontwikkeling metrologieframe;
  • ontwikkeling levelsensor;
  • ontwikkeling nieuw meetsysteem.

Ontwikkeling metrologieframe

Trefwoorden: specificaties, conceptdesign, hoog vacuüm
Een van de subsystemen in de waferscanners van MAPPER Lithography is het metrologiesysteem. Het metrologiesysteem meet met nanometernauwkeurigheid de positie van de waferstage ten opzichte van het lenssysteem. Het eerste scannerprototype gebruikt daarvoor tijdelijk capacitieve sensoren. Er is een conceptstudie uitgevoerd naar een metrologiesysteem en er zijn specificaties voor dit frame opgesteld. Een conceptdesign is gemaakt voor de montage van de capacitieve sensoren.

Ontwikkeling levelsensor

Trefwoorden: conceptdesign, design- en productiespecificaties, kwalificatie, lijmen
Een van de subsystemen in de waferscanners of -steppers van ASML is de levelsensor. De levelsensor is een meetsysteem dat gebruikt wordt bij de focussering van de wafer. Verhoogde eisen aan de focusseernauwkeurigheid leidden tot de ontwikkeling van deze nieuwe sensor. Enkele conceptdesignstudies zijn uitgevoerd. Daarnaast zijn mechanische analyses uitgevoerd. Ook zijn optomechanische designspecificaties, opbouw- en afregelspecificaties opgesteld voor productie. Verder is er een test- en kwalificatieplan opgesteld en uitgevoerd.

Ontwikkeling Stage Position Measurement System

Trefwoorden: functionele specificaties, ontwerpspecificaties
De nieuwste scannersystemen van ASML gebruiken voor de positionering van de waferstages een nieuw type meetsysteem. In samenwerking met het ontwikkelteam van dit complexe meetsysteem zijn de functionele specificaties opgesteld. Daarnaast zijn de ontwerpspecificaties voor de betreffende submodules opgesteld.