Kwalificatietesten opzetten

F11-200x200Natuurlijk streeft u naar een ontwerp dat meteen aan alle specificaties voldoet. Door het voortraject van conceptdesign, het opstellen van specificaties en het uitvoeren van de benodigde analyses lukt dat of komt u heel dichtbij.

Toch is het gewenst om de uiteindelijke constructie gedegen te testen op al zijn functies. Zo voorkomt u eventuele problemen of gehaaste aanpassingen omdat de productie al gestart is.

Vink System Design & Analysis heeft stevige ervaring in het opzetten en uitvoeren van kwalificatietesten. Een greep uit de door het bureau uitgevoerde projecten zijn:

  • ontwikkeling levelsensor;
  • redesign levelsensor;
  • redesign waferstage.

Ontwikkeling levelsensor

Trefwoorden: conceptdesign, design- en productiespecificaties, kwalificatie, lijmen
Een van de subsystemen in de waferscanners of -steppers van ASML is de levelsensor. De levelsensor is een meetsysteem dat gebruikt wordt bij de focussering van de wafer. Verhoogde eisen aan de focusseernauwkeurigheid leidden tot de ontwikkeling van deze nieuwe sensor. Enkele conceptdesignstudies zijn uitgevoerd. Daarnaast zijn mechanische analyses uitgevoerd. Ook zijn optomechanische designspecificaties, opbouw- en afregelspecificaties opgesteld voor productie. Verder is er een test- en kwalificatieplan opgesteld en uitgevoerd.

Redesign levelsensor

Trefwoorden: optomechanica, stabiliteit, specificaties, afregel-, software- en kwalificatieprocedures
Dit redesignproject is opgestart om de prestaties van het focusmeetsysteem in de waferscanners of -steppers van ASML nog verder te verhogen. Hiertoe is een vooronderzoek gedaan om te komen tot vernieuwde specificaties. Naast het opstellen van deze specificaties is er een test- en kwalificatieplan opgesteld.

Redesign waferstage

Trefwoorden: krachten, budgetten, kwalificatie, specificaties
Een van de subsystemen in de waferscanners of -steppers van ASML is de waferstage. Een waferstage positioneert de wafer tijdens de belichting van de wafer met ic-patronen. In een redesignproject van de waferstage werden nieuwe specificaties voor alle luchtlagers opgesteld. In een voorstudie zijn de lagerkrachten geanalyseerd waarna alle variabelen geoptimaliseerd zijn. Er is een optimale balans tussen luchtverbruik, draagkracht en luchtspleet nagestreefd. Kwalificatie van de eerste prototypes werd uitgevoerd, zowel op een losse testopstelling als na integratie in de machine.