Conceptdesign

F10-200x200Een van de eerste stappen bij de ontwikkeling van een ontwerp, is het uitvoeren van een conceptstudie. Een goede conceptstudie geeft snel inzicht in de haalbaarheid, kostprijs, oplossingsrichtingen en de benodigde ontwerptijd.

Met het gekozen concept kunt u tijdig de planning van het project aanpassen. Daarnaast leidt een conceptstudie soms tot aanpassingen van de specificaties.

Vink System Design & Analysis heeft gedegen ervaring in het maken van conceptstudies. Voorbeelden van uitgevoerde projecten zijn:

 

  • ontwikkeling reticlestage;
  • ontwikkeling waferalignment;
  • redesign x-as.

Ontwikkeling reticlestage

Trefwoorden: conceptdesign, mechanische analyses, interfaces, modelvorming
Een van de subsystemen in de waferscanners of -steppers van ASML is de reticlestage. De reticlestage positioneert het reticle met ic-patronen tijdens de belichting van wafers. De overgang van een statische belichting naar een scannende belichting vereiste een geheel nieuw te ontwikkelen reticlestage. Voor deze module is een conceptdesignstudie uitgevoerd, naast vele mechanische analyses en systeemanalyses. Daaruit vloeiden de designspecificaties voort en de externe interfacespecificaties.

Ontwikkeling waferalignment

Trefwoorden: optomechanica, conceptstudie, stabiliteit, statica
Een van de subsystemen in de waferscanners of -steppers van ASML is alignment. Alignment is een meetsysteem dat met nanometerprecisie de positie van de wafer opmeet. Voor de ontwikkeling van een nieuw alignmentsysteem, ATHENA geheten, zijn enkele conceptstudies uitgevoerd voor het design van de optomechanische submodules. Verder zijn systeem- en subsysteemspecificaties opgesteld.

Redesign x-as

Trefwoorden: krachten, stijfheid, conceptdesign, modulairdesign
Een van de subsystemen in de waferscanners of -steppers van ASML is de waferstage. Een waferstage positioneert de wafer tijdens de belichting van elke wafer met ic-patronen. In het redesign van de x-as van een zes-assige stage, bedoeld om nog hogere snelheden en versnellingen mogelijk te maken, zijn de specificaties van de gehele submodule opgesteld. Zowel de externe interface specificaties als de interne designspecificaties. In een vooronderzoek is een conceptstudie uitgevoerd naar de vorm, uitvoering en materiaalkeuze van de geleidingsbalk. Verder zijn de specificaties voor de gebruikte luchtlagers opgesteld en is richting gegeven aan het design.